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等离子体表面处理系统Pluto-M
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  • 发布时间:2019-07-30 05:03

产地:上海 | 归属行业:玻璃仪器

有效期至:长期有效

联系人: 王先生 (女士) 

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联系地址:上海市康桥东路1159弄91号

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品牌:PLUTOVAC型号:PLUTO -M适用范围:材料表面改性加工定制:非加工定制外形尺寸:404*640*615mmmm重量:50kg频率:13.56MHz功率:200W电极尺寸:125*125mm腔体:不锈钢气路:标配1路area class="lazyLoad">

等离子体表面处理系统Pluto-M

产品特点:

PLUTO-M是一种非破坏性的表面处理设备,它是利用能量转换技术,在一定真空负压的状态下,以电能将气体转化为活性极高的气体等离子体,该等离子体以一定能量作用于样品表面,引起分子结构改变和表面形貌的纳米级变化,从而达到对样品表面进行改性和分解污染物的目的。

PLUTO-M是一款将真空式等离子体技术应用于各种不同领域的研究性操作平台,除了实现常规清洁样品和表面改性的功能外,通过添加不同的功能模块,可以实现等离子体镀膜,等离子体合成反应,等离子体纯化等功能。极大的拓展该设备的应用领域。

等离子表面处理技术现已广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、高分子、生物医学、微观流体学等领域。PLUTO-M小型等离子表面处理设备以体积小、成本低、操作简便等特点广泛应用于科研及小批量生产场合。

 

​等离子体表面处理系统Pluto-M​参数(标准配置)

外部尺寸

404*640*515mm

 

真空腔尺寸

直径210mm*230mm

不锈钢腔体

电极尺寸

125*125mm

多空自适应平板电极

等离子体发生器

RF射频发生器,频率:13。56MHz

自适应阻抗匹配电源

功率

0-200W连续可调

精度1W

真空计

热电偶真空计 0-1000mT

 

供气

1路气体

6mm国标连接件(软管)

控制方式

4.3寸触摸屏

 

可 选 配 置

ALC

纯铝腔体

 

RF-300

等离子体发生器

频率13.56MHz ,0-300W自动阻抗匹配电源

可调电极

可调节电极间距

电极间距20-60mm可调,改变等离子体场浓度特性

CM装置

沉积镀膜模块

用于改变表面特性:

1.    沉积CF材料,样品表面可以具有憎水的特性

2.    沉积含苯材料,样品表面起到绝缘防水的特性

3.    沉积含有羟基的材料,提高样品表面和其他材料的结合效果。

GP装置

气体纯化装置

 

PPU

粉体处理装置

用于处理微纳米级别颗粒

 

气体收集装置

用于收集等离子体化学反应后的气体

 

小型氧气发生器

用于制备氧气,可取代氧气罐

 

气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计

 

感应耦合模块

感应耦合等离子体装置

 

加热电极模块

福建快3电极可以加热,室温~200度可调。

 

光谱仪模块

可以增加光谱仪的接口,检测等离子体光谱变化

 

电极转换模块

可以自由变换电极设计,样品可以放在射频电极上,也可以放在地电极上。从而实现不同的处理效果。






抽气装置:

福建快3推荐型号:飞跃 VRD-8  二级油泵

尺寸:495x160x237mm   功率:1000W   抽气速率:8m3/h


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